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集成電路行業(yè)廢氣處理如何保證效果?

【時(shí)間】2020-07-03? ?【作者】恒藍(lán)環(huán)保編輯 ?【點(diǎn)擊】???TAG:廢氣處理(138)行業(yè)(7)集成電路(1)???
        前幾天,有客戶打電話咨詢集成電路的廢氣處理問(wèn)題,小編與技術(shù)人員溝通后給客戶回復(fù)了方案及報(bào)價(jià),對(duì)于集成電路所產(chǎn)生的環(huán)保問(wèn)題,主要有生產(chǎn)和生活廢水,還有車間內(nèi)的廢氣和固體廢物等,對(duì)于廢水和固廢的處理本文不詳細(xì)介紹,但是對(duì)于集成電路行業(yè)的廢氣處理,需要為您詳細(xì)的介紹一下,以便對(duì)您選擇環(huán)保設(shè)備有那么一點(diǎn)點(diǎn)的幫助,本文由恒藍(lán)環(huán)保公司小編帶您了解集成電路行業(yè)廢氣處理采用什么方法?
 
        首先,對(duì)于集成電路行業(yè)的廢氣需要?dú)w納一下,這些廢氣是有幾個(gè)種類呢?一般是有五種左右的不同廢氣,有酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、含塵廢氣、熱無(wú)處理廢氣,因?yàn)榧呻娐返纳a(chǎn)線通常是24小時(shí)的流水線,所以對(duì)于廢氣處理工程設(shè)計(jì)方面需要可靠。在生產(chǎn)集成電路的過(guò)程中所使用的硅烷、磷烷等特殊氣體基本上均為危險(xiǎn)、有毒化學(xué)品,在生產(chǎn)裝置的工藝排氣中有未反應(yīng)的氣體、特殊氣體鋼瓶交換時(shí)也有氣體排出,且發(fā)生意外時(shí),有可能大量的工藝氣體因泄漏而排出,需要就近進(jìn)行處理。處理的方法有水洗式、干式吸附式、燃燒/加熱分解式。
 
集成電路行業(yè)廢氣處理如何保證效果?
集成電路行業(yè)廢氣處理如何保證效果?
 
      
言歸正傳,集成電路行業(yè)的廢氣需要采用廢氣凈化塔進(jìn)行處理,一般采用氣液逆流操作,尾部的離心風(fēng)機(jī)將收集到的廢氣吸到廢氣吸收洗滌凈化塔內(nèi),經(jīng)過(guò)噴淋層和填料層,廢氣與吸收液進(jìn)行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng),廢氣經(jīng)過(guò)三級(jí)凈化后,再經(jīng)除霧板脫水除霧后,引入吸附設(shè)備,利用蜂窩狀活性炭的多孔結(jié)構(gòu),活性炭孔壁上的大量的分子可以產(chǎn)生強(qiáng)大的引力,從而達(dá)到將介質(zhì)中的雜質(zhì)吸引到孔徑中的目的,然后經(jīng)過(guò)15米的煙囪高空排放到大氣中。
 
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